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派克 FRN1000 減壓閥 - FR1000系列

FR1000 系列在半導(dǎo)體和其他清潔的天然氣輸送超高純度的調(diào)節(jié)過程, 低到中等流量,這個系列的閥門在閥歧管箱,煤氣柜,和其他半導(dǎo)體制造等行業(yè)非常廣泛的應(yīng)用。

作為一款用于氣體精密控制的通用減壓閥,F(xiàn)RN1000減壓閥進口壓力可達3500psig,Cv 值 0.09 和0.15 可選。

? 膜片與閥體間采用金屬對金屬密封
? 標準膜片材料為Hastelloy®
? 鈍化工藝
? 可用于氧氣應(yīng)用


FR1000 系列在半導(dǎo)體和其他清潔的天然氣輸送超高純度的調(diào)節(jié)過程, 低到中等流量,這個系列的閥門在閥歧管箱,煤氣柜,和其他半導(dǎo)體制造等行業(yè)非常廣泛的應(yīng)用。

? 流量系數(shù): 0.09, 0.15 Cv
? 最大入口額定壓力: 3500 psig
? 出口額定壓力: 出口壓力1-30 psig, 2-60 psig, 2-100 psig, 5-150 psig, 1-10 psig
? 閥座材料: 聚三氟氯乙烯
? 端口數(shù)量: 2
? 端口類型: 1/4"面密封,3/8"面密封
? 端口連接: 外螺紋,外螺紋,內(nèi)螺紋,內(nèi)螺紋
? 閥體材料: 316L不銹鋼,316L不銹鋼雙融
? 選件: 鈉,哈氏合金裝飾(提升閥)
? 內(nèi)部泄漏率: 內(nèi)部泄漏率為4 x 10 -8 scc/sec He
? 工作溫度: -40°F to 150°F (-40°C to 66°C)
? 隔膜材料: 哈氏合金的C-22材料
? 閥芯材料: 316L 不銹鋼
? 過濾器材料: 哈氏合金的C-22材料
? 表面處理: 表面組糙度10RA(0.25微米),25RA(可選)

? 體積: 0.49 cm3

FR1000系列調(diào)節(jié)閥是非束縛隔膜的減壓閥, 提供低至中等流量的能力與入口壓力為3500 psig.FR1000提供工藝氣體導(dǎo)致在一個穩(wěn)定的流量和下游系統(tǒng)使其成為閥箱、氣瓶柜優(yōu)良的選擇壓力提供正確的控制,和許多半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用.

標準的哈氏合金C-22®隔膜和綜合過濾促進壽命長性能的同時,金屬對金屬密封膜片以獲得高度密封性。
FR1000提供相同的質(zhì)量、穩(wěn)定性和性能水平的派克產(chǎn)品的預(yù)期,在一個高度競爭的價格點.新生產(chǎn)線補充了我們現(xiàn)有的,保費qr4000和hf1200系列穩(wěn)壓器,和組合,將廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用。

市場:
? 半導(dǎo)體制造
? 天然氣公司

特點/好處:
? 金屬-金屬膜片密封實現(xiàn)泄漏完整性
? 制造超高純度氣體輸送應(yīng)用
? 10英寸RA表面光潔度
? 鈍化和電解拋光
? 綜合過濾
? 標準hastelloy® 膜片

應(yīng)用:
? 工具掛鉤
? 閥門歧管箱
? 處理氣體柜
? “使用點”壓力調(diào)節(jié)

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